ウェハー製造において32Kが重要な理由
カメラの台数、光学系の複雑さ、あるいはキャリブレーションの手間を増やすことなく、より高い解像度やより広い検査範囲を実現します。
同じ視野でより高い解像度
視野を維持したまま、検査精度を20 µmから10 µmの分解能へと向上させます。光学系の再設計を行うことなく、より微細な欠陥を検出できます。
カメラを追加することなく、より広いウェーハをカバー
1台の32Kラインカメラで、検査範囲を150 mmから300 mmに拡大します。スティッチングゾーンを削減し、ウェハ全体をシームレスに撮影可能にします。
既存の16K光セットアップの再利用
光学アーキテクチャ全体を再設計することなく、システムのアップグレードを迅速に進めることができます。標準の16K光学系は、32Kカメラプラットフォームと互換性を維持しています。
マルチカメラシステムの複雑さを軽減
カメラ、光学系、照明、フレームグラバーを統合した検証済みのサブシステムにより、システム統合を簡素化します。半導体検査環境における設計工数を削減し、導入を迅速化します。
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