AlliedVision Application semiconductor inspection

Telecamere per l'ispezione dei semiconduttori per l'analisi avanzata della superficie dei wafer

Rilevare i difetti con precisione per una produzione di semiconduttori costante e di alta qualità

Ottieni una qualità superiore dei semiconduttori con telecamere industriali progettate per ispezioni precise. Migliora il rilevamento dei difetti e l'affidabilità dei processi nella produzione.

Sfide e tendenze

Semicon, Electronics & Display inspection

Rilevamento di minuscoli difetti su ogni wafer, ogni volta

Piccoli difetti possono trasformarsi in gravi perdite di rendimento. Individuarli su wafer di grandi dimensioni richiede velocità e immagini ad alta risoluzione, in grado di coprire ogni angolo senza compromessi.

Mantenere un'elevata velocità senza perdere nemmeno un difetto

L'ispezione completa delle superfici deve tenere il passo con tempi di ciclo ristretti. Una scansione più lenta comporta il rischio di colli di bottiglia nella produzione e una riduzione della produttività, rendendo la velocità e l'efficienza fondamentali in ogni fase.

Adattamento dell'illuminazione a diversi tipi di difetti e superfici

Ogni tipo di difetto e ogni superficie presentano sfide uniche in termini di visibilità. Garantire un'intensità luminosa sufficiente per la scansione ad alta velocità è fondamentale per evitare difetti non rilevati e rendimenti compromessi.

Applicazioni

Ispezione dei wafer nudi

Ispezione dei wafer non lavorati per rilevare particelle, graffi superficiali o contaminazioni prima dell'inizio di qualsiasi processo di strutturazione.

Rilevamento dei difetti macro

Rilevamento di difetti su aree estese quali irregolarità del rivestimento, contatti difettosi, ponti elettrici o strutture mancanti.

Monitoraggio del processo di incisione

Ispezione dopo la fase di incisione per identificare residui, corrosione, fori o difetti del modello.

Controllo qualità in uscita (OQC)

Controllo visivo finale prima che i wafer lascino la fabbrica: garantisce la pulizia, l'integrità del rivestimento e la qualità della superficie.

Verifica delle tracce del circuito

Ispezione delle tracce e dei modelli dei circuiti stampati per rilevare interruzioni, cortocircuiti o deviazioni dalle specifiche di progettazione.

Requisiti tecnici

Immagini ad alta risoluzione spaziale per un rilevamento affidabile dei difetti nella produzione di wafer o semiconduttori
Telecamere sensibili SWIR in grado di vedere attraverso tutti gli strati con i massimi livelli di precisione
Elevata larghezza di banda per l'ispezione dei semiconduttori che richiede immagini ad alta definizione
Sensori all'avanguardia che funzionano ad alta frequenza di fotogrammi per aumentare la produttività